Page 23 - 网络电信2018年12月刊下

稳定持续的恒温对流液体蒸发汽化器的应用与

设计

1,2
1,2
李尚伟 ，田国才 ，柳锦炜 1,2
1. 江苏亨通光导新材料有限公司；
2. 江苏亨通光电股份有限公司

一、前言 体外面，罐内还需一定的正压，罐体承受压力为小于0.1Mpa；
随着中国制造不断深入，前沿制造生产的探索和应用持 液体加热到沸点后，液体才能汽化成气体，罐体承受温度为
续往基础材料研究，很多行业涉及到高纯度原材料的制备；特 150℃。
别是半导体行业中的集成电路生产、光伏生产和液晶面板的生 加热温控系统，采用电加热丝和电加热毯进行加热，温度
产，及不断扩大的光纤母棒生产和高纯度石墨生产，都采用气 值采集使用PT100热电阻；控制器采用西门子PLC进行温度PID调
相沉积法。此方法的制备都需液体蒸发汽化器的设备设施的投 节。加热系统的稳定，也需要一套很好的保温措施。
入。 2、恒温对流蒸发器的基本结构及特点
液体原料蒸发汽化系统，需要把液体生产原料汽化为气 （1）蒸发器结构组成：
态，再通过管道输送与控制，进行生产。蒸发器的稳定性和持 蒸发器结构组件由内凸台式不锈钢罐体、罐体外壁加热
续性是稳定生产的保障，其中液体汽化成气态，加热温控系统 毯、罐体底部加热毯、内凸台内嵌式电加热丝和测温热电偶。
的配置是优化的关键。 其中罐体底部内凸台式设计，为罐体设计的核心，主要作用是
温控加热越精细，加热器控制的受热面最好越小越好；如 增大液体加热面，可以有效分布分段加热功能；另外，内凸台
果布置太多加热装置，就会造成受热面太多，影响其他温控测 式加热设计，还可以有效提高液体受热时温度对流速度和接触
量单元，测量数据不准确。合理的设置温控系统，也是本设计 面，使受热液体热交换更充分。侧面和底部电加热毯是分布单
的研究方向。 独增设的，进行分段加热控制。增设4个PT100温度传感单元，
其中三个分别对应以上每个加热器，另外一个为液体本身的温
二、恒温对流液体蒸发汽化器的设计结构及 度传感单元。
特点 （2）集中控制单元：
1、实施条件及注意事项： 采用PLC控制方式，通过模拟量输入模块输入温度传感单
本设计涉及蒸发罐的罐体，罐体采用不锈钢材料焊接定 元，熔断器和固态继电器等电路单元执行加热器加热，HMI人机
制，必须保证密封性；在密封罐内，达到液气分离，气密性必 交互界面连接PLC进行设置参数进行配置集中控制单元。
须得到保证；当气体达到一定的饱和程度，气体才能拍出罐 根据PLC模拟量采集模块特点，PT100热电阻信号接入，需

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