Page 25 - 网络电信2018年12月刊下

三、设计稳定持续的恒温对流蒸发器实现的 大陆转移，国家战略规划的实施和内需的双重驱动影响下，中
功能 国半导体相关装备会逐渐在全球扮演的角色。
1、液气分离输出：
对储有液体的蒸发罐进行加热，加热到液体的汽化点后， 五、小结
原料形成气体状态；当罐内气体持续保持蒸发温度以上，汽化 本文从液体蒸发汽化器应用场景和使用行业，阐述了稳定
后的气体量增加到一定压力，压力值大于外界压力一定范围 持续的恒温对流蒸发汽化器主要思路和控制方法。随着气相沉
时，气体就能形成稳定气流输出。 积法等制备加工技术的应用深入和推广，半导体等高端基础材
2、稳定的加热闭环控制： 料的生产会大规模、高质量的快速使用，降低国外高端装备依
利用采集到的温度传感单元的温度值，输入到PID功能模块 赖。
内，根据自动整定的参数，设置稳定极限P参数、临街系数I和 通过以上设计，利用分段加热控制，合理的罐体结构设计
振荡周期D参数，控制电源输出到加热器执行加热，加热值会逐 和控制系统，蒸发器可以达到稳定持续汽化效果，达到恒温对
渐稳定在设定温度值。 流的温场控制。
3、稳定的工艺气源：
根据稳定的温度控制，蒸发罐内液体原料会持续汽化，罐
内会形成稳定的饱和蒸气压；当气体输出时，气源稳定，输出
到物料生产设备稳定运行。
参考文献
四、恒温对流蒸发汽化器对应研究的应用 [1] GB/T 33008.1-2016《工业自动化和控制系统网络安全 可编程序
稳定持续的恒温对流蒸发汽化器，是对气相沉积法过程中
控制器（PLC）第1部分：系统要求》.
液体原材料制备高纯度产品的汽化成气体的装置；半导体、光 [2] 中金“中国半导体”系列报告的第7篇.
伏、光纤母棒等行业对气体流量和稳定都需要达到精密控制，
[3] JB_T 5583-1991《工业热电阻型式、基本参数及尺寸》.
才能保障稳定的生产过程；有一套稳定的蒸发器是生产的必须 [4] JJF 1098-2003《热电偶、热电阻自动测量系统校准规范》.
条件。
[5] JB_T 7836.1-2005《电机用电加热器 第1部分：通用技术条件》.
随着中国半导体与集成电路相关产业从成本驱动走向技术 [6] 西门子Simatic S7-300 CPU31xC和CPU31X:安装操作说明.
创新驱动，伴随国内智能手机产业崛起和全球电子制造产业向
[7] 西门子Simatic PID温度控制手册.

四川联通在西部率先开通5G网络，引领5G医联网创新

作为西部领先的通信运营商，中国联合网络通信有限公司四川省分公司（下文简称四川联通），加紧步伐迎接5G时代。 2018
年9月29日，中国联合网络通信有限公司（下文简称中国联通）5G创新中心正式落户成都，成为中国联通在西部的唯一一家创新中
心。

近日，四川联通在华西医院和成都三院开通端到端的5G试商用网络，并进行了相关的业务测试。在商用终端环境下，测试峰
值速率可以达到1.8Gbps以上，该结果能够满足后续5G网络商用的相关要求。

同时，四川联通率先在西部针对医疗进行了5G应用的探索及试点，将5G技术率先引入到了现代医疗当中。与前几代移动网络
相比，5G网络能力的飞跃发展，使得医疗与通信行业融合与协同创新会更加深入。

四川联通率先与成都市第三人民医院开展了5G远程医疗课题研究，在5G网络环境下，进行了远程超声诊断的演示。基于5G网
络的高清、流畅的视频语音使医生与体检人员能够进行全方位实时的无障碍沟通；同时基于5G高性能的超声成像技术，使得远程超
声诊断系统与近端超声检查图像质量高度一致，突破了传统诊疗方式的局限，克服时空的障碍。

四川联通将全力打造5G精品网络，引领运营商5G潮流，推动5G行业的发展与成熟。并联合行业合作伙伴，全面推进5G技术在
多行业的应用，如医疗健康领域的应用，实现医生、病人、设备和信息系统的一体化，更好地造福医疗机构与病患，推动四川省医
疗健康行业发展水平的提升。

网络电信 二零一八年十二月 57