Page 33 - 网络电信2019年4月刊下
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用于折射率和温度同时测量的反射式光纤SPR



            传感器


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                 1
                       1
            鄂思宇 ,张亚男 ,赵强 ,吴奇鲁     1
            1.东北大学信息科学与工程学院 沈阳 110819
            2.齐鲁工业大学(山东省科学院) 山东省科学院海洋仪器仪表研究所 青岛 266061

























                 摘要:本文提出一种基于表面等离子体共振(Surface  Plasmon  Resonance,SPR)的光纤传感
              器实现了液体折射率和温度的同时测量.该传感器采用反射式结构,使用金膜作为激发SPR的金属
              膜,并通过在部分金膜上涂覆聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane,PDMS)使其输出光谱产生
              两个独立的谐振谷.当溶液折射率和温度发生变化时,两个谐振谷会分别发生不同的移动,通过监
              测两个谷波长的移动量,再利用双波长矩阵法,便可实现溶液折射率和温度的同时测量。实验结
              果表明,该传感器的折射率灵敏度可达到1764.3nm/RIU,温度灵敏度为-1.02nm/±C.
                 关键词:光纤传感器;表面等离子体共振;折射率测量;温度补偿



                在工业生产过程中的自动化控制系统和检测系统中,传感                        低.此外,许多光纤SPR传感器的研究重点是如何提高折射率的测
                                   [1]
            器发挥着越来越重要的作用 .其中,液体折射率的测量对于液                         量灵敏度,往往忽视了温度变化对于折射率测量的影响.由于液
            体成分分析与理化性质研究有着重要作用                [2-3] .光纤传感技术是     体温度的变化会使传感器探头对折射率的测量产生干扰,因此在
            一种将光作为载体,光纤作为介质,用来感知及传播外界环境变                         测量液体折射率时,必须要补偿温度带来的影响.
            化的新型技术.光纤传感具有灵敏度高、不受电磁干扰、响应迅                             本文提出一种基于600¹m直径光纤的反射式光纤SPR传感器,
            速、适用于远距离测量等特点,吸引了许多学者对其进行了深入                         并对传感器涂覆聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane,PDMS)
                                                    [6]
            研究  [4-5] .目前,光纤传感技术已经应用在诸多领域 .对于溶液                  来实现对温度的测量.
            折射率的测量,已经出现了许多种不同原理的光纤传感器,例如
                                                            [7]
            马赫{曾德尔干涉(Mach-zehnderinterference,MZI)传感器 ,              一、传感机理分析与系统设计
                                                            [8]
            法布里{珀罗干涉(Fabry-perotinterfer-ence,FPI)传感器 ,              光纤SPR传感器的传感机理是根据表面等离子体共振现象演
                                                    [9]
            光纤布拉格光栅(Fiberbragggrating,FBG)传感器 ,表面等离              变而来的.当具有相同波矢和频率的倏逝波与表面等离子体波沿
            子体共振(Sur-faceplasmonresonance,SPR)传感器   [10-11] .相对于  相同方向传播时会产生共振,二者的能量耦合,入射光会将部分
            其他的光纤折射率传感器,光纤SPR传感器有着更高的灵敏度,并                       能量转移给表面等离子体波,导致反射光强度急剧下降,出现共
            且响应迅速.目前已经提出了多种结构的SPR传感器来实现对折                        振波谷,也称作谐振谷        [15] .因为金属层的厚度一般小于倏逝波的
            射率的测量,例如多模{单模{多模           [12] ,多模{光子晶体光纤{多模        穿透深度,全反射产生的倏逝波可以透过金属层在金属{介质界
            [13] 和空芯光子晶体光纤     [14] 等.但是,目前的光纤SPR传感器大多           面处存在,此时倏逝波在X方向的波矢可以表示为:
            采用透射式结构,不宜进行远距离测量,而且传感器机械强度较                                                                           (1)


                                                       网络电信 二零一九年四月                                            55
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