Page 30 - 网络电信2018年10月刊下

表1：预制棒芯径以及外径情况 图7：松散体收缩比

并可提前做出玻璃化工艺调整，保证玻璃化过程不被拉细或收
缩，既能提高预制棒外径均匀性，又能避免拉细导致的预制棒
报废，具体实现程序如图8。

图8：玻璃化工艺流程

将沉积完的松散体外径扫描并与经验收缩比计算之后得
出预估的预制棒外径，同时在头尾部分不按照设定程序进行， 以某一机台为例，各取50组数据进行对比，外径波动以及
以单独的玻璃化程序运行，0～300mm加快玻璃化速度防止过度 D3/D1的波动情况见图9和图10。
拉细，1600～1900mm放慢玻璃化速度防止过度收缩，不同的机 由图9和图10可以看出，经过玻璃化工艺改进，预制棒的
台，得到的预制棒松散体收缩比不同，这是由于沉积机台的差 外径波动和D3/D1波动大大降低，预制棒的合格率也有明显的提
异性导致的，有些机台松散体密度稍大，有些机台松散体密度 高，采用新的玻璃化工艺不仅可以修正预制棒的外径均匀性，
稍低，玻璃化时收缩的情况也不同，通过大量的试验数据得出 更能有效降低废品率。
的松散体玻璃化收缩比可以为以后玻璃化提供很大参考意义，

网络电信 二零一八年十月 51