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器和分子筛流化床。通过该工序可以去除聚烷基硅氧烷原材料 图7 Dow Corning公司OMCTS(XIAMETER PMX-0244)的蒸气压与温度的关系
中的高沸点杂质,以便于进行后续的纯化操作。通过使用活性
炭和分子筛将硅烷和硅氧烷连接后去除铂催化剂污染杂质的方
法在Ashby等人的U.S.Patent 4156689的专利中有详细的描述。
但是在经过活性炭过滤和分子筛处理后,确会在聚烷基硅氧烷
中生成至少一部分的高沸点杂质。这是该处理存在的副作用。
这些高沸点杂质的增加应当是由于原材料中的低沸点混合物、
甚至可能包含硅烷醇进行缩合反应后产生的线性或环状的高沸
点混合物。分子筛流化床则可除去这类具有大分子尺寸的高沸
点混合物。中间产物经再蒸馏后,其馏出物(distillate)即为
可用于OVD包层工艺的高纯OMCTS。
OMCTS提纯工艺中压力控制很重要,在蒸馏过程中OMCTS的
蒸汽压P(Pa)应大于exp(20.4534-3128.52/(T-98.093)),其中T
为蒸馏温度(K)。
低沸点的杂质,如D3和分子量小于250g/mol的硅氧醇,易 c.OMCTS的供料系统和喷灯
挥发热解,在输料管道内和喷灯处形成SiO 2 ,影响进料速度, 和 S i C l 4 相 似 , O M C T S 供 料 系 统 示 意 图 见 图 8 ( 摘 自
使沉积的疏松棒不均匀,并影响进料系统和喷灯的寿命。 U.S.Patent 6336374 B1 2002)。系统中OMCTS通过汽化被载气
其中高沸点杂质可能主要为硅氧烷和含端羟基基团的硅氧 如N 2 气带到喷灯,CH 4 或H 2 作为喷灯燃料,O 2 既作助燃材料,也作
烷。这些硅氧烷杂质可能会包含有环状分子结构的聚甲基硅氧 为反应物,反应气体从喷灯中心喷出,在火焰高温区进行氧化
烷。其在常规大气压下的沸点会高于250℃。此外,虽然十二甲 裂解,产生的SiO 2 粉尘逐渐堆积在芯棒上,形成疏松体。疏松
基环己硅氧烷(D6)的沸点是低于250℃,但是,十四甲基环庚 体经后续烧结工艺在He和Cl 2 气氛下烧结而成透明光纤预制棒。
硅氧烷 (D7) 的沸点超过了250℃,均需视为杂质。且当存在水 D4常温下是液体,不能直接进入供料系统,需要采用特殊的蒸
时,环状聚甲基硅氧烷可能会发生开环反应并生成含端羟基基 发器将D4汽化。
团的硅氧烷。其反应式如(5)式所示: 由于D4的高沸点,因而供料系统的管道以及喷灯的结构
均需有专门的设计。这里介绍住友电工 Takashi Yamazaki,
(5) Tomohiro Ishihara,(US 0338400A1 2014) 提出的一种专门用
上式中R’和R’’是烷基。其中,D4或D5(当上述公式中 于OMCTS-OVD包层沉积系统的供料系统管道以及喷灯的结构设
的X为4或者5时)为主的环状聚甲基硅氧烷会优先进行水解开 计:供料系统管道的温度控制在OMCTS的沸点175℃+30℃,以保
环反应生成线性的含端羟基基团的硅氧烷化合物。其与后续的 证物料在供料系统管道中不会液化(liquefaction),如低于
化合物相比,会很大程度上降低整体的挥发度。并因此在二氧 此温度,物料会因聚合反应生成凝胶质点堵塞管道。而喷灯温
化硅玻璃沉积反应装置的气相反应管路或喷灯处产生有害的凝 度则控制在OMCTS的沸点175℃±30℃,以保证汽相OMCTS可顺利
胶。更有甚者,这些在上述反应中生成的硅氧烷化合物会积极 从喷口喷出。若喷灯温度低于175℃-30℃,物料会液化,影响
地与其反应前物质,环状硅氧烷进行缩聚反应并生成高沸点的 正常的沉积工艺。为使供料系统管道和喷灯的温度得到严格控
凝胶产物。其反应式如(6)式所示: 制,在供料管道上包有加热保温套;在喷灯的中心物料喷口周
围设置了加热元件和热电偶测温控温装置。
(6) 图8 供料系统示意图
这些高沸点,低挥发性的物质,在结构上可能是环状或
非环状的。但是,无论如何,其都极可能在生产设备中产生凝
胶的沉积。联系整个工艺过程,可以知道,应当尽可能地减少
原材料中即便含量很低的该类高沸点杂质以保障沉积的生产效
率。
表4为OMCTS-OVD光纤预制棒外包层用高纯D4技术要求。图7
为Dow Corning公司OMCTS(XIAMETER PMX-0244)的蒸气压与温度
的关系。
表4 光纤预制棒外包层用高纯D4技术要求
成分 单位 含量
D4 % 99.9
D3 % < 0.1
D5 % < 0.1 对D4和SiCl 4 的沉积效率研究表明,采用合适的供料系统
环状硅氧烷总量 % > 99.9 和沉积工艺,D4的沉积效率比SiCl 4 高出10%~25%(图9,引自
水份 mg/kg < 20
USP5043002)。
28 网络电信 二零一七年八月